仪表可靠性是化工集团仪表工所追逐的另一重大性能指标。可靠性和仪表维护量是相反相成的，仪表可靠性高介绍仪表维护量小，反之仪表可靠性差，仪表维护量就大。对于化工集团检查与过程限制仪表，大部分安装在工艺管道、各类塔、釜、罐、器上，而且化工生产的连续性，多数有毒、易燃易爆的环境，这些恶劣因素给仪表维护加大了很多难题，一是考虑化工生产安全，二是关系到仪表维护人员人身安全，所以化工集团消耗检查与过程限制仪表要求维护量越小越好，亦即要求仪表可靠性尽可能地高。

随着仪表更新换代，特别是微电子技术引入仪表制造行业，使仪表可告性大大提高。仪表生产厂商对这个性能指标也越来越重视，通常用平均无故障时刻MTBF来描述仪表的可靠性。一台全智能变送器的MTBF比一般非智能仪表如电动Ⅲ变送器要高10倍左右，它可高达100~390年。